1

1、指导甲方进行真空系统的检查，气密性检查和维护，粗制泵和分子泵的故障排查。

2、指导甲方进行液态金属泵的检查和维护，包括更换润滑油，泵隔膜、阻尼器，压力传感器，加注液态金属。

3、指导甲方进行电子枪的故障维护，包含更换阴极组件，清理馈通管、电子枪，电子束流的校准。

4、指导甲方进行高压馈通腔体的检查和液态金属清理；E-DUMP的液态金属清理和维护，出光窗口的检查和清理，高压电缆的检查和维护。

5、其他日常紧急维修指导，故障排查指导。

6、日常操作指导，维护指导，技术问题答疑等。

 2025年4月1日-2025年09月30日